描述

PELCO? LatticeAx? 120基礎(chǔ)款晶圓切割機(jī)，可對樣品表面的壓痕進(jìn)行精細(xì)調(diào)整，然后通過精確控制的三點(diǎn)劈裂，制作出高質(zhì)量的樣品截面。

LatticeAx采用了容易控制的“解理切割”，使得切割過程更為精準(zhǔn)，減少了切割誤差。它不需要劃線，是在晶圓表面用金剛石壓頭壓一條長度小于1mm、寬度約10um的淺壓痕，然后沿著壓痕進(jìn)行解理，這樣不僅可以最大程度地保存樣品的原始結(jié)構(gòu)，還可以避免晶圓在切割過程中產(chǎn)生的不必要損傷。采用晶面解理方式，能夠得到更為理想的切口，斷面更光滑，有利于后續(xù)的觀察和使用。

它是一個緊湊的、通用的和強(qiáng)大的切割工具，可用于縮小尺寸和對各種基材進(jìn)行橫截面切割，包括硅、砷化鎵、磷化銦、藍(lán)寶石和玻璃。使用PELCO? LatticeAx?，您可以按原樣切割您的樣品，無需額處理樣品，可對多種多樣的尺寸、形狀、厚度、邊緣質(zhì)量的材料進(jìn)行切割。

設(shè)備包括：LatticeAx真空臺，用于在壓痕步驟中固定樣品；一個精密、扁平的線性平臺，用于精確設(shè)置壓痕位置；一個預(yù)先安裝的金剛石壓頭；以及一臺帶有連接軟管的小型真空泵。

?應(yīng)用場景：

用于 SEM 分析的特定部位橫截面

在 FIB 或?qū)掚x子束之前進(jìn)行目標(biāo)定位

縮小用于掃描電鏡的樣品高度

使用非晶圓級平臺進(jìn)行切割，為其他分析工具創(chuàng)建統(tǒng)一的樣品

用于光子學(xué)分析的垂直鏡像切割