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描述
Ted Pella 108?manual是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。
主要特性
l??通過(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程，避免樣品表面受損。
l??操作容易快捷，控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。
l??可用MTM-10高分辨膜厚控制儀（選件）精確測(cè)定所鍍膜的厚度。
l??數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和最佳的鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材：Au，?Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配），靶材更換快速方便。
技術(shù)參數(shù)
| 濺射系統(tǒng) | |
| 樣品室大小 | 直徑120mm?x 120mm?高?(4.75 x 4.75″) |
| 靶材 | Au?靶為標(biāo)配，?Au:Pd, Pt, Pt:Pd?（選件）;大?。褐睆?7mm?x 0.1mm厚 |
| 樣品臺(tái) | 可以裝載12個(gè)SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為60mm |
| 濺射控制 | 微處理器控制，安全互鎖，可調(diào)，最大電流40mA，程序化數(shù)字控制 |
| 濺射頭 | 低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩 |
| 模擬計(jì)量 | 真空：?Atm – 0.001mbar |
| 厚度監(jiān)控 (選件) | 使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）精確測(cè)定所鍍膜的厚度 |
| 控制方法 | 手動(dòng)氣體換氣和泄氣功能，帶有“暫?！笨刂频臄?shù)字定時(shí)器（5－300s），手動(dòng)放氣 |
| 真空系統(tǒng) | |
| 真空泵 | 2級(jí)直連式高速真空泵 |
| 抽氣速率 | 3.0 m3/小時(shí)?，真空度到?0.1mb所需時(shí)間30秒. |
| 桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺(tái)上，全金屬集成耦合系統(tǒng) |
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