描述

Pelcotec™ CDMS 校準(zhǔn)標(biāo)樣是一種獨(dú)特的經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、功能齊全、可追溯的校準(zhǔn)標(biāo)樣，可用于快速精準(zhǔn)的掃描電鏡(SEM)、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(FESEM)、離子束刻蝕(FIB)、CD-SEM、LM和AFM放大倍數(shù)校準(zhǔn)。這些標(biāo)樣采用最新的半導(dǎo)體和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù)制成，可以覆蓋廣泛的測(cè)量范圍。

Pelcotec™ CDMS 校準(zhǔn)標(biāo)樣有兩種特征尺寸范圍，分別是 Pelcotec™ CDMS-1T 和 Pelcotec™ CDMS-0.1T ，都提供可追溯和認(rèn)證標(biāo)樣，共有4個(gè)種：

Pelcotec™ CDMS-1T : 可追溯，特征尺寸范圍為2.0毫米到1微米，放大倍數(shù)范圍為10倍到20,000倍，非常適合臺(tái)式掃描電鏡和低到中等放大應(yīng)用。

Pelcotec™ CDMS-1C : 經(jīng)過NIST標(biāo)樣認(rèn)證的特征尺寸范圍為2.0毫米到1微米，放大倍數(shù)范圍為10倍到20,000倍，非常適合臺(tái)式掃描電鏡和低到中等放大應(yīng)用。

Pelcotec™ CDMS-0.1T : 可追溯，特征尺寸范圍為2.0毫米到100納米，放大倍數(shù)范圍高達(dá)10倍到200,000倍，適用于所有掃描電鏡和大多數(shù)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用。

Pelcotec™ CDMS-0.1C : 經(jīng)過NIST標(biāo)樣認(rèn)證的特征尺寸范圍為2.0毫米到100納米，放大倍數(shù)范圍高達(dá)10倍到200,000倍，適用于所有掃描電鏡和大多數(shù)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用。

Pelcotec™ CDMS? 標(biāo)樣的特征尺寸范圍為2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10μm、5μm、2μm和1μm（適用于 Pelcotec™ CDMS-1T ISO 和 Pelcotec™ CDMS-1C ）。而Pelcotec™ CDMS-0.1T? 和 0.1C? 的特征尺寸范圍為2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10μm、5μm、2μm、1μm、500nm、250nm和100nm。

Pelcotec™ CDMS? 標(biāo)樣采用超平整的硅襯底制成，采用精密的50nm鉻沉積技術(shù)制造特征尺寸小于5μm的部分，而采用50nm金/20nm鉻的組合制造2μm到100nm的特征尺寸。鉻和金/鉻在硅基底上提供了卓越的SE和BSE成像模式對(duì)比度，比刻蝕硅標(biāo)樣更易于確定特征。由于硅襯底、鉻和鉻/金特征都具有導(dǎo)電性，因此該校準(zhǔn)標(biāo)樣不存在充電問題。由于其堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)，CDMS標(biāo)樣可使用等離子體清洗器進(jìn)行清潔。

較小的特征尺寸被嵌套在一起，以便于導(dǎo)航和快速校準(zhǔn)。特征的精度為0.3%或更高。標(biāo)樣的實(shí)際尺寸為2.5 x 2.5mm，厚度為525μm ±10μm，在硅表面上沒有涂層。每個(gè)Pelcotec™ CDMS 校準(zhǔn)標(biāo)樣都有一個(gè)獨(dú)特的識(shí)別編號(hào)。

Pelcotec™ CDMS 校準(zhǔn)標(biāo)樣可供選擇不安裝或安裝在SEM樣品臺(tái)A-R上。對(duì)于AFM應(yīng)用，Pelcotec™ CDMS 安裝在12mm的AFM圓片上，而對(duì)于LM應(yīng)用，則安裝在25 x 75mm的載玻片上。也可以制備在自定義的支架上。

可選的樣品座。